東京エレクトロン、自習する半導体製造装置

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東京エレクトロンが半導体製造装置の自律化を推し進める。装置が稼働状況などのデータを収集して解析情報をもとに制御することで生産性を向上させる。自動学習の精度を高めて半導体回路を極限まで細くする「微細化」で高い製造技術を必要とする顧客ニーズに対応する。全社的なデジタルトラ
情報元サイト:「日経産業新聞」
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